龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：西安和其光电科技股份有限公司
摘要：本发明涉及用于处理晶圆的快速热处理炉，具体涉及一种可实现低温热处理工艺的快速热处理炉，用于解决辐射高温计需要在更短波长范围内进行测温以避开卤素加热灯的热辐射干扰，但在低温和短波长条件下，辐射高温计测得的辐射信号强度不足，信噪比不满足测温需求的不足之处。该可实现低温热处理工艺的快速热处理炉通过在保护层上增加覆盖辐射测温系统工作波段的截止膜，排除了卤素加热灯对于辐射测温系统的测量干扰，使得辐射测温系统可以测得更低温度下晶圆的辐射信号，扩展了RTP的低温工艺范围，测温下限可以达到170℃或更低，对晶圆热处理的技术进步具有重要意义。
主权项：1.一种可实现低温热处理工艺的快速热处理炉，包括加热腔室1和工艺腔室2；其特征在于：所述加热腔室1位于工艺腔室2上方，内部为加热腔，底端为透明的保护层11，加热腔室1内设置有加热组件，加热组件包括蜂窝结构排列的多个卤素加热灯3；所述工艺腔室2内部为工艺腔，顶面为透明材质，工艺腔内设置有托盘4、机械控制系统和辐射测温系统5；所述托盘4上开设有用于设置晶圆01的安装孔，所述机械控制系统用于驱动托盘4旋转，从而带动晶圆01旋转；所述辐射测温系统5位于晶圆01下方；所述保护层11上设置有截止膜，截止膜的滤光范围包含辐射测温系统5的工作波段。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西安和其光电科技股份有限公司 一种可实现低温热处理工艺的快速热处理炉
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号