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申请/专利权人：浙江德汇电子陶瓷有限公司;绍兴德汇半导体材料有限公司
摘要：本发明公开了一种氮化硅基板生胚连续印刷隔离浆料的方法，所述氮化硅基板生胚连续印刷隔离浆料的方法包括以下步骤：浆料制备、裁切覆膜、印刷烘干、褪膜切片和层叠烧结。本发明在氮化硅生胚上贴附一层微粘膜后进行加工，因此可以使其在传动时不发生褶皱变形并且设置的连续化印刷与烘干流程也大大提升了生产效率，可以对产品进行大规模的生产制造，而在氮化硅加工的过程中利用丝网印刷技术，在氮化硅生胚表面连续印刷一层厚度均匀的氮化硼隔离浆料，这样的设置可以很好的解决传统喷涂工艺造成喷涂量不均的问题，有效的降低了粉体表面团聚的可能性，避免了多个生胚在进行层叠烧结互相粘结的问题，保证了烧结后成品基板的平整度。
主权项：1.一种氮化硅基板生胚连续印刷隔离浆料的方法，其特征在于：所述氮化硅基板生胚连续印刷隔离浆料的方法包括以下步骤：步骤一、浆料制备：称取一定量的有机溶剂加热，升温至50-80℃后将增稠剂、分散剂、流平剂和触变剂依次加入搅拌均匀形成有机载体，将冷却后的有机载体与氮化硼陶瓷粉依次加入真空球磨罐中混料，再经三辊轧机轧制后得到氮化硼隔离浆料；步骤二、裁切覆膜：将经过流延成型得到的氮化硅生坯进行裁剪得到特定宽度，在裁切后的氮化硅生坯上贴附一层微粘膜后置于印刷平台；步骤三、印刷烘干：利用丝网印刷技术，将制备好的氮化硼隔离浆料均匀印刷在氮化硅生胚表面，印刷完毕后沿着传送带送入链式烘干炉烘干；步骤四、褪膜切片：将烘干后的氮化硅生胚进行褪膜处理，并利用裁切装置裁切为一定尺寸的小片；步骤五、层叠烧结：将多个裁切后的小片层叠，置于氮化硼匣钵后进行气压烧结。
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