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一种真空板衬的贴附方法 

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申请/专利权人:北京化工大学

摘要:本发明公开了一种真空板衬的贴附方法,具体包括以下步骤:1将待处理工件进行超精细复合打磨抛光;2在待处理工件的壁面涂覆胶水,连接无纺布;3在无纺布的表面涂覆胶水,连接板衬材料;4通入超纯氮气,通入高压蒸汽;5对待处理工件的内壁与板衬材料间进行抽真空操作,即得。本发明采用的高强贴附真空板衬技术是一种特殊的防腐、耐磨、耐高温、耐化学腐蚀等特性的技术,其在湿电子化学品的生产过程中可高效阻隔设备及管道内壁金属离子和颗粒物的渗入,将化工产品的纯度大大提高,可满足G5级湿电子化学品的生产要求,创造性地将各种金属离子杂质的含量降至5ppt以下,经济效益显著提升,加速了高纯高端化学品生产的生产进程。

主权项:1.一种真空板衬的贴附方法,其特征在于,具体包括以下步骤:1将待处理工件进行超精细复合打磨抛光;2在待处理工件的壁面涂覆胶水,连接无纺布;3在无纺布的表面涂覆胶水,连接板衬材料;4在超精细复合打磨抛光、涂覆胶水、连接无纺布和连接板衬材料时持续通入超纯氮气,在连接无纺布和连接板衬材料时持续通入高压蒸汽;5对待处理工件的内壁与板衬材料间进行抽真空操作,即得。

全文数据:

权利要求:

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