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热导式氢气传感器及其制备方法 

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申请/专利权人:苏州亿波达微系统技术有限公司

摘要:本发明涉及氢气传感器技术领域,尤其涉及热导式氢气传感器及其制备方法,包括电桥、工作组件和非工作组件,电桥至少包括第一组件,第一组件包括串联的第一桥臂和第二桥臂,工作组件包括第一工作电阻,第一工作电阻设置在第一桥臂上,第一工作电阻设为热敏电阻,第一工作电阻的阻值为R1,非工作组件包括第一非工作电阻,第一非工作电阻设置在第二桥臂上,第一非工作电阻的阻值为R2,其中,满足R2小于R1。本发明所述的热导式氢气传感器及其制备方法,传感器的阻值设置简单、灵敏度高、功耗低。

主权项:1.一种热导式氢气传感器,其特征在于,包括:电桥,所述电桥至少包括第一组件,所述第一组件包括串联的第一桥臂和第二桥臂;工作组件,所述工作组件包括第一工作电阻,所述第一工作电阻设置在所述第一桥臂上,所述第一工作电阻设为热敏电阻,所述第一工作电阻的阻值为R1;以及非工作组件,所述非工作组件包括第一非工作电阻,所述第一非工作电阻设置在所述第二桥臂上,所述第一非工作电阻的阻值为R2,其中,满足R2小于R1。

全文数据:

权利要求:

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