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申请/专利权人：长春理工大学中山研究院;中山吉联光电科技有限公司
摘要：本申请提供一种可见光超硬复合镀膜材料及制备方法、装置、减反膜，应用光学镀膜材料、减反膜及真空镀膜技术领域，包括：以钛材料、硅材料以及反应气体作为原料，通过反应气体分别将钛材料和硅材料向镀膜基材共蒸发沉积，以便得到包含钛元素Ti、硅元素Si以及反应元素的镀膜材料；在隔板隔开下，钛材料和硅材料各自向镀膜基材上蒸发沉积；控制钛材料在共蒸发沉积中的第一速率，以使该镀膜材料中钛元素Ti的含量占比满足第一条件对应要求；控制硅材料在共蒸发沉积中的第二速率，以使该镀膜材料中硅元素Si的含量占比满足第二条件对应要求，以此来获取满足折射率、硬度、耐磨性以及抗划伤性能等多种要求的镀膜材料。
主权项：1.一种可见光超硬复合镀膜材料制备方法，其特征在于，包括：以钛材料、硅材料以及反应气体作为原料，在真空镀膜机内对所述钛材料和所述硅材料进行共蒸发处理；其中，通过所述反应气体分别将所述钛材料和所述硅材料向镀膜基材共蒸发沉积，以便得到包含钛元素Ti、硅元素Si以及反应元素的镀膜材料；所述钛材料和所述硅材料以隔板隔开放置在所述真空镀膜机内部，使得在所述隔板隔开下，所述钛材料和所述硅材料各自向所述镀膜基材共蒸发沉积；在共蒸发沉积处理中，根据所述镀膜材料的硬度需要满足的第一条件，控制所述钛材料在共蒸发沉积中的第一速率，以使所述镀膜材料中所述钛元素Ti的含量占比满足所述第一条件对应要求，以及根据所述镀膜材料的折射率需要满足的第二条件，控制所述硅材料在共蒸发沉积中的第二速率，以使所述镀膜材料中所述硅元素Si的含量占比满足所述第二条件对应要求。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 长春理工大学中山研究院 中山吉联光电科技有限公司 可见光超硬复合镀膜材料及制备方法、装置、减反膜
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