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摘要：本发明公开了一种具有腔体自净功能的半导体工艺腔体结构及其自净方法，属于半导体技术领域，该半导体工艺腔体结构在反应腔的原腔体结构基础上增加了CO2清洗模块；CO2清洗模块包括：液态CO2源、气源、混合容器及喷嘴；液态CO2源用于提供液态CO2；气源用于提供压缩空气或惰性气体；液态CO2源和气源分别通过通路A与混合容器相通；所述液态CO2与压缩空气或者惰性气体在混合容器内混合形成混有雪花状干冰颗粒的混合气体，该混合气体分别通过通路B与安装在腔壳和管路中多个喷嘴一一相通连接；该混合气体通过多个喷嘴分别喷入到腔壳和管路中；本发明能够解决反应腔内长时间跑货后累计的污垢处理费时、费人力、人工清理容易清理不干净的问题，提升机台效率。
主权项：1.一种具有腔体自净功能的半导体工艺腔体结构，其特征在于，在反应腔的原腔体结构基础上增加了CO2清洗模块；所述CO2清洗模块包括：液态CO2源、气源、混合容器、喷嘴、通路A、通路B及控制单元；所述液态CO2源用于提供液态CO2；气源用于提供压缩空气或惰性气体；液态CO2源和气源分别通过通路A与混合容器相通；所述液态CO2与压缩空气或者惰性气体在混合容器内混合形成混有雪花状干冰颗粒的混合气体，该混合气体分别通过通路B与安装在腔壳和管路中多个喷嘴一一相通连接；该混合气体通过多个喷嘴分别喷入到腔壳和管路中；所述通路A上设有开关阀，控制单元通过控制开关阀的启闭进而控制通路A的通断，进而控制CO2清洗模块的工作与否；所述通路B上设有调节阀，控制单元通过控制调节阀的开度控制喷嘴的清洗流量；控制单元还控制加热器工作的启闭，来调节腔壳的内腔的温度。
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百度查询： 上海邦芯半导体科技有限公司 具有腔体自净功能的半导体工艺腔体结构及其自净方法
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