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申请/专利权人：深圳市库比克科技有限公司
摘要：本发明公开了一种CVD金刚石生长设备中的数据采集与远程控制系统，涉及金刚石生长技术领域，安装不同类型的传感器，使传感器应覆盖反应室的关键区域，实时收集反应室内的各项参数，确保数据的全面性和准确性，将传感器收集到的原始数据传输至数据采集系统进行预处理，提高数据的质量和一致性，为后续分析提供基础。本发明通过动态调整气体流量采集频率，适应不同化学反应速率，确保快速反应时及时调节气体流量，防止沉积速率不稳定，提高金刚石生长的质量和一致性，智能调节避免低速反应时高频采集，减少系统响应迟滞和误操作，优化资源利用，提高生产效率，降低能耗和成本，延长设备寿命，增强生产过程的可持续性和经济性。
主权项：1.一种CVD金刚石生长设备中的数据采集与远程控制系统，其特征在于，包括数据收集模块、数据传输与预处理模块、特征提取与评估模块、反应速率分类模块、标准采集频率模块以及动态采集频率调整模块；数据收集模块，安装不同类型的传感器，使传感器应覆盖反应室的关键区域，实时收集反应室内的各项参数，确保数据的全面性和准确性；数据传输与预处理模块，将传感器收集到的原始数据传输至数据采集系统进行预处理，提高数据的质量和一致性，为后续分析提供基础；特征提取与评估模块，从预处理后的数据中提取与化学反应速率相关的特征信息，将采集到的特征信息进行分析后输入训练好的机器学习模型，动态评估当前的化学反应速率；反应速率分类模块，基于机器模型输出的结果，将当前的化学反应速率划分为快速反应、正常反应以及低速反应；标准采集频率模块，根据评估出的化学反应速率，设置不同方式的气体流量采集策略，其中，针对正常反应过程，以标准采集频率对气体流量数据进行采集，通过精确调节气体流量来优化金刚石生长环境，提高金刚石的生长质量；动态采集频率调整模块，针对快速反应和低速反应过程，以标准采集频率对气体流量的实际数据采集频率进行调整，分别基于标准采集频率对快速反应和低速反应过程下的实际采集频率进行调高和降低，适应不同化学反应速率下的气体流量调节需求。
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