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申请/专利权人：复旦大学

摘要：本发明提供一种非对称单边电场带电粒子束流的荷质比分析装置，包括：一真空腔室，用于接收外部的一带电粒子串流产生装置入射的多个带电粒子束流；一电场偏转电极组件，设置于真空腔室内，连接外部的一稳压电源，用于提供非对称单边的一偏转电场；一磁铁组件，设置于真空腔室内，用于提供正交于偏转电场的一均匀磁场以与偏转电场形成一正交电磁场，通过正交电磁场偏转各带电粒子束流中的非目标带电粒子束流并使对应一预设荷质比的目标带电粒子束流通过。有益效果是本装置通过非对称单边偏转电场和均匀磁场偏转非目标带电粒子束流以使目标带电粒子束流通过，并具备探测和准直带电粒子束流和目标带电粒子束流的功能。

主权项：1.一种非对称单边电场带电粒子束流的荷质比分析装置，其特征在于，包括:一真空腔室，用于接收外部的一带电粒子串流产生装置入射的多个带电粒子束流；一电场偏转电极组件，设置于所述真空腔室内，连接外部的一稳压电源，用于提供非对称单边的一偏转电场；一磁铁组件，设置于所述真空腔室内，用于提供正交于所述偏转电场的一均匀磁场以与所述偏转电场形成一正交电磁场，通过所述正交电磁场偏转各所述带电粒子束流中的非目标带电粒子束流并使对应一预设荷质比的目标带电粒子束流通过；至少一第一束流光阑电极组件，设置于所述真空腔室内并位于所述带电粒子串流产生装置的发射端与所述电场偏转电极组件之间，用于探测和准直所述带电粒子束流；至少一第二束流光阑电极组件，设置于所述真空腔室内并位于远离所述带电粒子串流产生装置发射端的一端，用于探测和准直所述目标带电粒子束流；复数个电磁屏蔽套筒组件，分别设置于所述电场偏转电极组件的两侧，用于屏蔽所述偏转电场外的边缘电场和所述均匀磁场外的边缘磁场；所述真空腔室的外壁上焊接有至少一真空电极并通过所述真空电极连接所述稳压电源；所述电场偏转电极组件包括：一腔室平板，所述腔室平板与所述真空腔室接地相连；一偏转平板，通过一绝缘陶瓷进行固定并连接所述真空电极，通过所述稳压电源对所述偏转平板施加与所述预设荷质比对应的一偏转电压以形成垂直于所述偏转平板和所述腔室平板的所述偏转电场；所述电磁屏蔽套筒组件包括：一外圆筒，用于传导热量；一中间圆筒，嵌设于所述外圆筒的内部，用于屏蔽所述边缘磁场；一内圆筒，嵌设于所述中间圆筒的内部，用于屏蔽所述边缘电场。

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