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申请/专利权人：ASML荷兰有限公司
摘要：在各方面中尤其地公开了一种带电粒子检查系统，其包括吸收部件和可编程带电粒子反射镜板，该可编程带电粒子反射镜板被布置为修改束中电子的能量分布并且对束进行整形以减少电子的能量散布和束的像差，其中吸收部件包括限定腔的结构，该腔具有内部表明以及设置在内部表上的超材料吸收体。在操作中，腔沿着束路径的一部分延伸。在其他实施例中，超材料包括吸收结构集合，该吸收结构集合被配置为设置在透明导电层上的吸收结构。进一步，公开了一种使用这种吸收部件并且使用可编程带电粒子反射镜板的方法，其中这种可编程带电粒子反射镜板包括像素集合，该像素集合被配置为生成定制电场以对束进行整形。
主权项：1.一种带电粒子束装置，包括：带电粒子束源，被配置为朝向样品发射带电粒子束；带电粒子检测器，被配置为检测从所述样品发射的带电粒子；以及被配置用于使所述带电粒子束的能量散布变窄的装置，所述装置包括：结构，限定沿所述带电粒子束的路径的一部分延伸的腔，所述腔具有内部表面；以及超材料吸收体，设置在所述内部表面上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ASML荷兰有限公司 控制带电粒子束的能量散布的装置和方法
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