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一种光学元件激光损伤测试设备及方法 

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申请/专利权人:中国工程物理研究院激光聚变研究中心

摘要:本发明提供一种光学元件激光损伤测试设备及方法,涉及光学元件激光损伤研究领域。光学元件激光损伤测试设备包括施力装置、测量装置、计算模块和损伤测试装置。通过施力装置向待测样品施加应力,使待测样品均匀地变形后,待测样品表面产生应力均匀分布的区域。测量装置由此能够方便、准确地测量出待测样品的最大形变量,进而由计算模块定量计算出待测样品上的最大应力,并在此基础上有损伤测试装置开展损伤测试实验,测试出待测样品在该最大应力下的损伤阈值和损伤增长阈值。调整应力的大小进行多次测试,即可模拟光学元件在使用过程中受到应力作用的情况,保证测试结果的精确性和有效性。

主权项:1.一种光学元件激光损伤测试设备,其特征在于,包括施力装置、测量装置、计算模块和损伤测试装置;所述施力装置用于向待测样品施加应力,以使所述待测样品均匀地变形;所述测量装置用于测量所述待测样品的最大形变量;所述计算模块用于根据所述最大形变量计算出所述待测样品上的最大应力;所述损伤测试装置用于测试所述待测样品在所述最大应力下的损伤阈值和损伤增长阈值;所述待测样品呈板状设置;所述施力装置包括底座、转轴和顶进机构;所述转轴沿第一方向设置,所述第一方向为所述待测样品的宽度方向,所述转轴与所述底座转动连接,所述转轴成对设置在所述待测样品的两侧,所述转轴上设有卡持部和转动臂,两个所述卡持部分别卡持所述待测样品的两侧边;所述顶进机构设置在所述底座上,所述顶进机构用于同时顶进两个所述转动臂,以使两个所述转轴沿相反的方向转过相同的角度;所述顶进机构包括调节螺母和调节螺丝,所述调节螺母固定设置在所述底座上,所述调节螺丝沿所述待测样品的厚度方向设置,所述调节螺丝与所述调节螺母螺纹配合,所述调节螺丝同时与两个所述转动臂相抵;所述测量装置包括扫描平台和测距传感器;所述测距传感器设置在所述扫描平台上,所述测距传感器用于测量自身与所述待测样品的距离,所述最大形变量为所述测距传感器与所述待测样品的最大距离和最小距离的差值;所述扫描平台用于带动所述测距传感器移动,并使所述测距传感器至少经过所述待测样品的最小变形区域和最大变形区域。

全文数据:

权利要求:

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