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申请/专利权人：ASML荷兰有限公司
摘要：公开了一种用于获得包括合成量测数据的训练数据集的方法，所述训练数据集被配置为用于训练与用于制造集成电路的制造过程有关的模型。该方法包括：获得行为特性数据，该行为特性数据描述由制造过程和或相关工具或影响产生的过程参数的行为。附加地或可替代地，可以获得对由所述制造过程和或类似制造过程形成的结构执行的量测数据。使用所述行为特性数据和或量测数据，确定合成量测数据，该合成量测数据描述了所述制造过程的变化和或相关工具或影响对所述过程参数的影响。使用包括所述合成量测数据的训练数据集训练模型。
主权项：1.一种用于获得包括合成量测数据的训练数据集的方法，所述训练数据集被配置为用于训练与用于制造集成电路的制造过程有关的模型，所述方法包括：获得行为特性数据，所述行为特性数据描述从所述制造过程和或相关工具或影响产生的过程参数的行为；根据所述行为特性数据确定所述合成量测数据，所述合成量测数据描述所述制造过程的变化和或相关工具或影响对所述过程参数的影响；以及使用所述训练数据集训练所述模型，所述训练数据集包括所述合成量测数据。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ASML荷兰有限公司 获得用于训练半导体制造过程的模型的训练数据的方法
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