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申请/专利权人：东京毅力科创株式会社
摘要：提供一种用于对接合层进行保护的载置台及基板处理装置。该载置台包括：基台；基板载置部，设置在所述基台的上表面上；环形部件载置部，设置在所述基台的上表面上且设置在所述基板载置部的外侧；第一接合层，将所述基台与所述基板载置部接合；第二接合层，将所述基台与所述环形部件载置部接合；环形部件，被放置在所述环形部件载置部上；以及密封部件，对所述第一接合层和所述第二接合层进行保护。
主权项：1.一种载置台，包括：基台；基板载置部，设置在所述基台的上表面上；环形部件载置部，设置在所述基台的上表面上且设置在所述基板载置部的外侧；第一接合层，将所述基台与所述基板载置部接合；第二接合层，将所述基台与所述环形部件载置部接合；环形部件，被放置在所述环形部件载置部上；以及密封部件，由弹性体形成，并且对所述第一接合层和所述第二接合层进行保护，所述密封部件与所述基板载置部的外周侧面或底面中的一者、以及所述环形部件的内周侧面抵接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东京毅力科创株式会社 载置台及基板处理装置
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