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申请/专利权人：绍兴晶彩科技有限公司

摘要：一种异型石墨坩埚及利用该石墨坩埚制备碳化硅多晶粉料的方法，它涉及异型石墨坩埚及其使用方法，它是要解决现有的石墨坩埚易磨损及多晶粉料纯度低的技术问题。坩埚包括上盖、坩埚主体、子坩埚和外螺纹石墨管；坩埚主体内设置呈阶梯状降低的立柱，子坩埚放在立柱的阶梯上，坩埚主体的筒壁中均布气孔，上盖与坩埚主体用外螺纹石墨管相连接。用法：将硅放在壳体底部；将碳粉放在子坩埚中，再将子坩埚放在立柱的阶梯上；将上盖与壳体用外螺纹石墨管旋紧后放在高温炉中；通过外螺纹石墨管向壳体的底部通入气体，升温反应，得到高纯碳化硅多晶粉料。该石墨坩埚磨损率低，使用7N~9N硅颗粒或硅块制备出的碳化硅多晶纯度为6N，用于碳化硅制备领域。

主权项：1.一种异型石墨坩埚，其特征在于该石墨坩埚包括上盖（1）、坩埚主体（2）、子坩埚（3）和外螺纹石墨管（4）；上盖（1）由圆筒状盖身（1-1）和位于盖身中部的隔层（1-2）组成，在隔层（1-2）上设置内螺纹孔（1-3），隔层（1-2）上部与盖身形成上腔（1-4）、隔层（1-2）下部与盖身形成下腔（1-5）；坩埚主体（2）由壳体（2-1）、3~6个呈阶梯状降低的立柱（2-2）和保护槽（2-3）组成；壳体（2-1）的外壁为圆筒形；壳体（2-1）的内壁为圆筒形，壳体（2-1）的内部的底为圆弧形；在底和内壁相交处有一个环状凸台（2-4），在凸台（2-4）上均布呈阶梯状降低的立柱（2-2），且立柱（2-2）与壳体的内壁连接成一体或固定连接在一起；立柱（2-2）的阶梯个数为2~6个；在壳体（2-1）的筒壁中均布3~6个气孔（2-1-1）；气孔（2-1-1）的上部开口设置在壳体（2-1）的上端面，气孔（2-1-1）的下部开口在环状凸台（2-4）的侧壁；立柱（2-2）与气孔（2-1-1）在壳体（2-1）的圆周上相间布置；子坩埚（3）的底和壁上由蜂窝状多孔结构的筛板制成，蜂窝状孔的孔径为0.01~0.5mm，子坩埚（3）的侧壁及底部厚度为5mm~10mm，子坩埚（3）放在立柱（2-2）的阶梯上；以立柱（2-2）做为子坩埚（3）的支撑体；保护槽（2-3）沿壳体（2-1）上口外沿一圈设置，保护槽（2-3）的上口高于上盖（1）与壳体（2-1）的接触面；壳体（2-1）的筒壁中气孔（2-1-1）的上部开口处设置有内螺纹，气孔（2-1-1）上部开口与上盖（1）内螺纹孔（1-3）的位置相对应，且均与外螺纹石墨管（4）的外螺纹相配合。

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