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申请/专利权人：苏州佑伦真空设备科技有限公司

摘要：本发明涉及坩埚旋转和移动技术领域，具体为一种防偏差的坩埚旋转和移动机构，包括下沉腔腔体，以及安装在下沉腔腔体前侧面的开合门，所述下沉腔腔体的后侧面通过连接法兰组件与支撑架相连接，下沉腔腔体的底面内部安装有滑轨机构，滑轨机构的上方滑动连接有移动滑板，所述移动滑板前侧上方安装有蒸发源，移动滑板上设置有用于对坩埚本体冷却的水管组件，水管组件的外端与开合门相连接，所述连接法兰组件内安装有密封件。该防偏差的坩埚旋转和移动机构，不仅使得坩埚本体移动出来后也可进行旋转，还不会导致坩埚本体发生偏差，从而便于坩埚旋转和移动机构很好的对坩埚进行旋转和移动操作，便于后期对坩埚本体进行补料，操作省时省力。

主权项：1.一种防偏差的坩埚旋转和移动机构，包括下沉腔腔体（1），以及安装在下沉腔腔体（1）前侧面的开合门（2）；下沉腔腔体（1）的上方安装有闸板阀本体（3），闸板阀本体（3）的上方安装有主腔体；其特征在于：所述下沉腔腔体（1）的后侧面通过连接法兰组件（7）与支撑架（4）相连接；支撑架（4）的内部滑动连接有安装架（16），安装架（16）的内部贯穿安装有电机（6）的输出端，电机（6）的输出端与传动轴（13）相连接；下沉腔腔体（1）的底面内部安装有滑轨机构（10），滑轨机构（10）的上方滑动连接有移动滑板（11），移动滑板（11）上安装有坩埚本体（9）；坩埚本体（9）上设置有盖板（8）；所述移动滑板（11）前侧上方安装有蒸发源（19），移动滑板（11）上设置有用于对坩埚本体（9）冷却的水管组件（18），水管组件（18）的外端与开合门（2）相连接；传动轴（13）的前端通过锥形齿轮组与坩埚本体（9）的下方相连接，坩埚本体（9）和移动滑板（11）向前滑动的同时，移动滑板（11）带动上方的轴承座和传动轴（13）一同向前移动；所述连接法兰组件（7）内安装有密封件；所述密封件包括波纹管本体（12），波纹管本体（12）的后端与连接法兰组件（7）的内壁焊接连接，波纹管本体（12）的前端通过密封轴承与传动轴（13）的外侧转动连接；所述安装架（16）呈“U”形状结构设置，安装架（16）的两侧面均安装有移动滑道（161），安装架（16）通过移动滑道（161）与支撑架（4）构成滑动结构；所述支撑架（4）的内侧壁安装有固定滑道（401），固定滑道（401）的外侧与移动滑道（161）凹凸配合滑动连接。

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