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申请/专利权人：连科半导体有限公司
摘要：本发明属于碳化硅外延生长技术领域，具体的说是一种碳化硅外延炉衬底旋转结构，包括：石英炉壁；热场，固接在石英炉壁的内部，一端铰接有端盖；开启第一电机，通过第一电机带动第二锥形齿轮转动，通过第二锥形齿轮带动第一锥形齿轮，通过第一锥形齿轮带动转杆转动，通过转杆带动连接块和水冷磁流体转动，通过水冷磁流体带动第二法兰盘、波纹管和第一法兰盘转动，通过第一法兰盘带动石墨旋转轴转动，通过石墨旋转轴带动第一衬底托盘转动，通过主动轮和从动轮的配合，第二衬底托盘发生转动，从而实现第一衬底托盘和第二衬底托盘同时转动，且通过转速传感器感应石墨旋转轴的转速，通过转速传感器控制第一电机，实现快速调节转速的功能。
主权项：1.一种碳化硅外延炉衬底旋转结构，包括：石英炉壁（2）；热场（1），固接在石英炉壁（2）的内部，一端铰接有端盖（11）；第一衬底托盘（222）和两个第二衬底托盘（223），均设在热场（1）内；石墨旋转轴（22），所述石墨旋转轴（22）的一端插接在第一衬底托盘（222）的底部，所述石墨旋转轴（22）的另一端通过第一法兰盘（23）连接有陶瓷连接轴（221）；旋转组件，用于驱动石墨旋转轴（22）转动；其特征在于：所述旋转组件包括第一安装座（29）和第二安装座（210）；所述第二安装座（210）的侧壁上固接有第一电机（283）；所述第一电机（283）的输出轴延伸至第二安装座（210）内，且固接有第二锥形齿轮（282）；所述第二安装座（210）的顶端通过转杆（28）转动连接有第一锥形齿轮（281），所述第一锥形齿轮（281）与第二锥形齿轮（282）啮合；所述第一安装座（29）内通过轴承一次转动连接有水冷磁流体（26）和连接块（27）；所述连接块（27）的底部固接在转杆（28）的顶部；所述水冷磁流体（26）的顶部通过第二法兰盘（25）连接有波纹管（24）；所述波纹管（24）的顶部固接在第一法兰盘（23）的底部；所述石墨旋转轴（22）的顶端固接有转速传感器（229）；所述第一电机（283）与转速传感器（229）电性连接。
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