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一种杠杆级联式纳米量级位移产生装置 

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申请/专利权人:上海济物光电技术有限公司

摘要:本发明专利公开了一种杠杆级联式纳米量级位移产生装置,具体涉及精密测距装置的技术领域。该装置包括步进电机、第一固定底座和第二固定底座,步进电机安装在第一固定底座上,步进电机上连接有螺纹杆,螺纹杆上螺纹连接有与第一固定底座滑动连接的第一滑块,第一滑块上插接有第一刚性圆锥顶尖,第一刚性圆锥顶尖的运动轨迹上设有转动点在第一固定底座外的第一杠杆,第一杠杆的另一侧设有第二刚性圆锥顶尖,第二刚性圆锥顶尖上抵触有转动点在第二固定底座外的第二杠杆,第二杠杆的另一侧设有第三刚性圆锥顶尖,第二固定底座上滑动连接有待测运动滑块。本发明技术方案解决了普通步进电机无法实现纳米量级的问题,可用于产生纳米量级的位移。

主权项:1.一种杠杆级联式纳米量级位移产生装置,其特征在于:包括步进电机、第一固定底座和第二固定底座,所述步进电机安装在第一固定底座上,所述步进电机上连接有螺纹杆,所述螺纹杆上螺纹连接有与第一固定底座滑动连接的第一滑块,所述第一滑块上插接有第一刚性圆锥顶尖,所述第一刚性圆锥顶尖的运动轨迹上设有转动点在第一固定底座外的第一杠杆,所述第一杠杆的另一侧设有第二刚性圆锥顶尖,所述第二刚性圆锥顶尖上抵触有转动点在第二固定底座外的第二杠杆,所述第二杠杆的另一侧设有第三刚性圆锥顶尖,所述第二固定底座上滑动连接有待测运动滑块;所述第二固定底座上设有气浮导轨,所述气浮导轨与待测运动滑块滑动连接。

全文数据:

权利要求:

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