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摘要：本发明提供一种用于芯片制造中抽检装置及其抽检方法。所述用于芯片制造中抽检装置，包括：输送机构和抽检箱，所述抽检箱的表面活动安装于所述输送机构的侧面；驱动电机，所述驱动电机的底部安装于所述抽检箱的内表面，所述驱动电机的输出端安装有驱动主轴。本发明提供的用于芯片制造中抽检装置，通过驱动电机方便带动摇臂进行旋转调节，摇臂旋转时配合辅助推板能够将输送中的芯片进行推送至抽检箱的正上方，芯片落在缓冲垫板的正上方进行集中收集，并且倾斜分布的缓冲垫板能够将收集的芯片自适应的集中收集，更方便对芯片的抽检使用。
主权项：1.一种用于芯片制造中抽检装置，其特征在于，包括：输送机构和抽检箱，所述抽检箱的表面活动安装于所述输送机构的侧面；驱动电机，所述驱动电机的底部安装于所述抽检箱的内表面，所述驱动电机的输出端安装有驱动主轴；摇臂，所述摇臂的表面固定安装于所述驱动主轴的顶端，所述摇臂的顶部安装有第一伸缩件，所述第一伸缩件的输出端安装有辅助推板；缓冲垫板，所述缓冲垫板的表面固定安装于所述抽检箱的内表面；所述抽检箱上安装有旋转电机，所述旋转电机的输出端安装有主动轴，所述主动轴的表面通过输送带传动连接有从动轴，所述输送带的外表面安装有承接垫板；所述抽检箱的底部安装有缓冲架，所述缓冲架的内侧安装有第二伸缩件，并且缓冲架的内表面安装有缓冲弹簧，所述抽检箱的底部安装有滑动罩；所述第二伸缩件的输出端与所述抽检箱的底部固定连接，所述缓冲弹簧的底端与所述缓冲架的内表面固定连接，并且缓冲弹簧的顶端与所述抽检箱的底部固定连接；所述滑动罩的外表面与所述缓冲架的内表面滑动连接，所述第二伸缩件安装于所述滑动罩的内部；所述主动轴的轴端贯穿所述抽检箱的表面且延伸至所述抽检箱的内部，并且主动轴的轴端与所述抽检箱的内表面转动连接，所述从动轴的轴端与所述抽检箱的内表面转动连接，所述承接垫板采用缓冲海绵，厚度为10mm~15mm。
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