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申请/专利权人：浙江工业大学
摘要：本发明公开了一种增强抗湿性能的纳米粒子组装材料气敏传感器及其制备方法，本发明的气敏传感器包括带有绝缘衬底的叉指电极以及在叉指电极上沉积的金属纳米粒子，在叉指电极的电极两端输入电压，叉指之间形成偏压，通过金属纳米粒子形成导电通路，产生电信号作为气敏传感响应信号；在叉指电极及金属纳米粒子表面，质地均匀的涂镀了疏水薄膜层，疏水薄膜层为PMMA、PDMS、PTFE、PFA和SiO2等疏水材料中的一种或多种，疏水薄膜层将内部金属纳米粒子与外部环境中的水蒸气隔绝，对金属纳米粒子及叉指电极表面起到很好的保护作用，达到增强抗湿性、提高稳定性的目的。
主权项：1.一种增强抗湿性能的纳米粒子组装材料气敏传感器，其特征在于包括带有绝缘衬底的叉指电极以及在叉指电极上沉积的金属纳米粒子，当在叉指电极的电极两端输入电压，叉指之间形成偏压，通过金属纳米粒子形成导电通路，产生电信号作为气敏传感响应信号；在叉指电极及金属纳米粒子的表面涂镀疏水薄膜层，形成包覆嵌埋结构，对金属纳米粒子及叉指电极表面进行保护，隔离水分子在金属纳米粒子表面的吸附，从而达到抗湿作用；其中，疏水薄膜层为PMMA、PDMS、PTFE、PFA和SiO2疏水材料中的一种或多种；PMMA、PDMS、PTFE、PFA和SiO2疏水材料中的一种或多种，通过旋涂或蒸镀的方法，涂镀于叉指电极及金属纳米粒子表面，与金属纳米粒子形成包覆嵌埋结构，对金属纳米粒子及叉指电极表面进行保护；疏水薄膜层在叉指电极表面的覆盖厚度在50nm–100μm之间。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江工业大学 一种增强抗湿性能的纳米粒子组装材料气敏传感器及其制备方法
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