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摘要：本发明提供了一种钽涂层及其制备方法，该制备方法包括以下步骤：纯钽与氯气反应得到五氯化钽气体，氯化铜在保护气氛下加热形成氯化铜气体，将五氯化钽气体和氯化铜气体与氢气进行置换，得到同步沉积于基体材料表面的钽单质和铜单质，形成钽涂层。本发明提供的制备方法解决了钽单质与铜单质不能同步沉积的问题，本发明制备的钽涂层具有优异的力学性能、生物活性和抗菌性能，通过钽金属和铜金属涂层的协同增效，解决了手术易感染问题，有效促进新骨的结合和长入，提高对骨缺损处的治疗效果。本申请广泛应用于医用骨植入材料技术领域。
主权项：1.一种钽涂层的制备方法，其特征在于：包含以下步骤：（1）将固体纯钽金属与氯气反应，得到五氯化钽气体，通过氩气输送，将所述五氯化钽气体通入放置有基体材料的CVD设备反应仓中，所述CVD设备反应仓内为高纯氩气气氛；（2）将氯化铜粉末加入石英料舟内，并放置在管式炉的石英管中，对所述石英管抽真空后通入氮气，加热，得到氯化铜气体，将所述氯化铜气体通入所述CVD设备反应仓中；（3）向所述CVD设备反应仓中通入氢气，同步置换出钽单质和铜单质，所述钽单质和所述铜单质同步沉积在所述基体材料表面；（4）反应完成后缓慢停止所述氢气、所述五氯化钽气体和所述氯化铜气体通入，持续通入所述氩气并保温，降温后获得钽涂层。
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百度查询： 哈尔滨工业大学(威海) 一种钽涂层及其制备方法
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