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一种MARK点光阑对准装置 

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申请/专利权人:锡凡科技(滁州)有限公司

摘要:一种MARK点光阑对准装置,包括光纤光源、对准镜筒、准直镜片、承载板和掩膜板,掩膜板包括:石英玻璃;第一金属铬层,其设置在石英玻璃一面;第二金属铬层,其设置在石英玻璃另一面;其中,第一金属铬层上设置有第一透光孔,第二金属铬层在第一透光孔的对应位置设置有第二透光孔,第一金属铬层和第二金属铬层相互配合对掩膜板除第一透光孔和第二透光孔外的区域完全遮光。本实用新型在激光打标时,掩膜板除了第一透光孔和第二透光孔外的区别实际几乎完全遮光,第一透光孔和第二透光孔与掩膜板的其他区域环境亮度对比度强,使坐标轮廓更加清晰,提升了对准装置的抓点精度,从而提高直写式激光成像设备的内层对位精度及速度。

主权项:1.一种MARK点光阑对准装置,应用于直写式激光成像设备中,包括光纤光源1、对准镜筒2、准直镜片3、承载板4和掩膜板5,其特征在于:掩膜板5包括:石英玻璃51;第一金属铬层52,其设置在石英玻璃51一面;第二金属铬层53,其设置在石英玻璃51另一面;其中,第一金属铬层52上设置有第一透光孔521,第二金属铬层53在第一透光孔521的对应位置设置有第二透光孔531,第一金属铬层52和第二金属铬层53相互配合对掩膜板5除第一透光孔521和第二透光孔531外的区域完全遮光。

全文数据:

权利要求:

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