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申请/专利权人：广州新锐光掩模科技有限公司
摘要：本申请提供一种光掩模基板卡匣支撑平台，涉及集成电路光掩模制造领域。所述光掩模基板卡匣支撑平台包括支撑底座和顶块，所述支撑底座设有高平台和低平台，所述高平台和低平台之间设有第一斜面和第二斜面，所述第一斜面与第二斜面之间的夹角为锐角，夹角制作成锐角可以减小支撑平面相对于水平面的倾斜程度，提高基板卡匣放置的稳定性，降低倾倒的风险；所述第一斜面上设有凹槽，所述顶块放置于所述凹槽内，所述支撑底座的下表面预留有镂空孔位和镂空安装通道，由于顶块的设计，光掩模在接触基板卡匣的底部之前会先受到顶块的支撑，避免了光掩模直接碰撞基板卡匣后壁的可能，减少生产过程中微粒的产生。
主权项：1.一种光掩模基板卡匣支撑平台，其特征在于，包括：支撑底座和顶块,所述支撑底座设有高平台和低平台，所述高平台和所述低平台之间设有第一斜面和第二斜面，所述第一斜面与所述第二斜面之间的夹角为锐角，所述第一斜面上设有凹槽，所述顶块放置于所述凹槽内，所述支撑底座的底部设有镂空孔位。
全文数据：
权利要求：
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