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摘要：本申请公开一种衬底片加工方法，包括步骤：对衬底片的上下两个表面进行研磨；对衬底片的上下两个表面中每一表面的边缘进行倒角处理；对衬底片的上下两个表面进行化学机械抛光；采用一定浓度氨水溶液对衬底片进行化学腐蚀。通过化学机械抛光去除研磨过程中衬底片表面的机械损伤及缺陷，减少衬底片表面的划伤、凹坑和橘皮，然后通过氨水溶液对衬底片进行化学腐蚀，以去除化学机械抛光过程中产生的损伤层及表面残留的应力，使得表面无划伤、凹坑和橘皮，改善衬底片表面缺陷多的问题，确保衬底片的表面粗糙度满足要求，提高衬底片的合格率。无需后续花费大量的时间以及额外的费用对表面进行改善，增加了衬底片加工的经济效益。
主权项：1.一种衬底片加工方法，其特征在于，包括步骤：S110，对衬底片的上下两个表面进行研磨；S120，对衬底片的上下两个表面中每一表面的边缘进行倒角处理；S130，对衬底片的上下两个表面进行化学机械抛光；S140，采用氨水溶液对衬底片进行化学腐蚀；其中，所述氨水溶液的质量浓度为2.2~3.3%。
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百度查询： 安徽光智科技有限公司 衬底片加工方法
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