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摘要：本发明属于传感器技术领域，具体涉及集成自校准结构的高灵敏度加速度传感器及其制备工艺。装置包括质量块、三根硅纳米线、压电陶瓷涂层、电压控制装置、硅纳米线传感器以及自适应校准模块；质量块与三根硅纳米线构成三角结构；电压控制装置，用于施加电压信号到压电陶瓷涂层，并控制压电陶瓷涂层的振动；硅纳米线传感器，用于获取质量块的形变量数据；自适应校准模块，用于根据测量出质量块的形变量数据和已知的参考加速度计数据计算校准参数。本发明具有能够提供高精度的校准方式，来提高加速度计的精确性和稳定性的特点。
主权项：1.集成自校准结构的高灵敏度加速度传感器，其特征在于，包括：质量块、用于支撑质量块的三根硅纳米线、设于质量块底部的压电陶瓷涂层、与压电陶瓷涂层连接的电压控制装置、与质量块连接的硅纳米线传感器以及自适应校准模块；所述质量块与三根硅纳米线构成三角结构；所述电压控制装置，用于施加电压信号到压电陶瓷涂层，并控制压电陶瓷涂层的振动；所述硅纳米线传感器，用于获取质量块的形变量数据；所述自适应校准模块，用于根据测量出质量块的形变量数据和已知的参考加速度计数据计算校准参数。
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百度查询： 杭州电子科技大学 集成自校准结构的高灵敏度加速度传感器及其制备工艺
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