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摘要：本发明提供一种利用湿法工艺制备气凝胶介质层的方法及气凝胶介质层，方法包括步骤：提供一个衬底，将二氧化硅凝胶涂布在衬底上，形成湿二氧化硅凝胶层；所述二氧化硅凝胶为包括硅源、无水乙醇和去离子水的混合物；在所述湿二氧化硅凝胶层表面涂布无水乙醇进行老化处理，在老化后的湿二氧化硅凝胶层表面涂布改性剂进行改性处理；对处理后的所述湿二氧化硅凝胶层进行干燥处理，得到二氧化硅气凝胶介质层。一种利用湿法工艺制备气凝胶介质层的方法制备得到的气凝胶介质层。使用湿法机台进行气凝胶介质层的制备同现有工艺兼容性高，无需设备改造；形成的孔隙性气凝胶介质层具能有效的防止漏电产生，且能有效降低热传导，减少高温对其他膜质的影响。
主权项：1.一种利用湿法工艺制备气凝胶介质层的方法，其特征在于，包括：S1、提供一个衬底，将二氧化硅凝胶涂布在所述衬底上，形成湿二氧化硅凝胶层；所述二氧化硅凝胶为包括硅源、无水乙醇和去离子水的混合物；S2、在所述湿二氧化硅凝胶层表面涂布无水乙醇进行老化处理，在老化后的所述湿二氧化硅凝胶层表面涂布改性剂进行改性处理；S3、对步骤S2处理后的所述湿二氧化硅凝胶层进行干燥处理，得到二氧化硅气凝胶介质层。
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百度查询： 重庆芯联微电子有限公司 一种利用湿法工艺制备气凝胶介质层的方法及气凝胶介质层
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