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摘要：本发明涉及用于微光刻照明系统20的分面反射镜18、19的系统集成校准的装置100、方法和计算机程序产品。借助于分面反射镜18、19产生辐射源101和辐射检测器102之间的光束路径103，在每种情况下，每个分面反射镜18、19只有一个可枢转的微镜18”、19”会影响所述光束路径。通过系统性枢转影响光束路径10的微镜18”、19”之一，可以根据辐射检测器102找到特定的最佳枢轴位置，也可以通过几何计算微镜18”、19”的潜在定向。将计算出的定向与微镜18”、19”上的倾斜传感器判定出的定向进行比较，可对于分面反射镜18、19的倾斜传感器或微镜18”、19”进行校准。
主权项：1.一种用于微光刻照明系统10的分面反射镜18、19的系统集成校准的配置100，其中所述分面反射镜18、19均设计成具有多个可单独枢转的微镜18’、19’的微机电系统，每一微镜18’、19’具有用于判定该微镜18’、19’定向的倾斜传感器，并且每个分面反射镜18、19固定设置在该照明系统10的照明光学单元16的光束路径中，其特征在于将至少一个发射电磁辐射的辐射源101和至少一个辐射检测器102固定设置，该辐射检测器102适于检测源自该辐射源101的辐射，使得所述分面反射镜18、19的所述微镜18’、19’的适当枢转产生从该辐射源101到该辐射检测器102的光束路径103，每个分面反射镜18、19中只有一个微镜18”、19”会影响该光束路径。
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百度查询： 卡尔蔡司SMT有限责任公司 校准分面反射镜的配置、方法、与计算机程序产品
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