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摘要：本发明提出了一种双面反射镜的面形测量装置及方法，包括十字丝光源、第一反射镜、第一起偏单元、第一角锥棱镜、第二反射镜、第三反射镜、第二起偏单元、第二角锥棱镜、第四反射镜、第二透镜及光学相机，第一反射镜设置于十字丝光源的出光路径上，使十字丝光源发射的入射光束传导至第一起偏单元中，第一角锥棱镜设置于第一起偏单元远离第二反射镜的一侧；由第一起偏单元出射的第一S偏振光和第一P偏振光，依次经第二反射镜和第三反射镜反射至第二起偏单元中，第二角锥棱镜设置于第二起偏单元远离第三反射镜的一侧；由第二起偏单元出射的第二S偏振光和第二P偏振光，经第四反射镜反射至光学相机中。本发明有助于提高双面反射镜的面形拟合准确度。
主权项：1.一种双面反射镜的面形测量装置，其特征在于，包括十字丝光源1、第一反射镜2、第一起偏单元3、第一角锥棱镜4、第二反射镜5、第三反射镜6、第二起偏单元7、第二角锥棱镜8、第四反射镜9以及光学相机10，其中，所述第一反射镜2设置于所述十字丝光源1的出光路径上，使所述十字丝光源1发射的入射光束传导至所述第一起偏单元3中，所述第一起偏单元3用于将输入的光束分别转换为第一S偏振光、第一P偏振光以及第一圆偏振光，并出射所述第一S偏振光和第一P偏振光，所述第一角锥棱镜4设置于所述第一起偏单元3远离所述第二反射镜5的一侧，所述第一角锥棱镜4用于将所述第一S偏振光反射至所述第一起偏单元3，所述第一圆偏振光用于测量双面反射镜一侧的楔角；由所述第一起偏单元3出射的所述第一S偏振光和所述第一P偏振光，依次经所述第二反射镜5和所述第三反射镜6反射至所述第二起偏单元7中，所述第二起偏单元7用于将输入的光束分别转换为第二S偏振光、第二P偏振光以及第二圆偏振光，所述第二角锥棱镜8设置于所述第二起偏单元7远离所述第三反射镜6的一侧，所述第二角锥棱镜8用于将所述第二圆偏振光反射至所述第二起偏单元7，所述第二圆偏振光用于测量所述双面反射镜另一侧的楔角；由所述第二起偏单元7出射的所述第二S偏振光和所述第二P偏振光，经所述第四反射镜9反射至所述光学相机10中。
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