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摘要：公开了一种从在执行所述处理步骤之前在图案化衬底上测量的第一量测数据来推断与已在其上曝光图案并已在其上执行处理步骤的图案化衬底有关的第二量测数据的方法。该方法包括获得包括第一模型组件的模型。第一模型组件包括机器学习模型组件，该模型组件已被训练以将所述第一量测数据映射到所述第二量测数据，所述第一模型组件还包括用于接收基于物理的输入数据的基于物理的输入通道。使用所述第一模型组件从所述第一量测数据推断第二量测数据，该第一模型组件由所述基于物理的输入通道上的所述基于物理的输入数据进行偏置。
主权项：1.一种从在执行所述至少一个处理步骤之前在所述至少一个图案化衬底上测量的第一量测数据来推断与至少一个图案化衬底有关的第二量测数据的方法，其中所述至少一个图案化衬底上已经曝光了图案并且已经执行了至少一个处理步骤，所述方法包括：获得包括至少一个第一模型组件的模型，所述至少一个第一模型组件包括已被训练以将所述第一量测数据映射到所述第二量测数据的机器学习模型组件，所述第一模型组件还包括用于接收基于物理的输入数据的基于物理的输入通道；以及使用所述第一模型组件从所述第一量测数据推断第二量测数据，其中所述第一模型组件由所述基于物理的输入通道上的所述基于物理的输入数据进行偏置。
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