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摘要：一种用于修整光子芯片的系统包括制作单元以及通信地耦合到所述制作单元的系统控制器。所述系统控制器经配置以致使所述制作单元在偏移状态中制作所述光子芯片。所述系统控制器进一步经配置以基于所述光子芯片的光学性能及所述光子芯片的第一目标光学性能来生成一或多个修整图案。所述系统控制器进一步经配置以基于所述一或多个修整图案在所述光子芯片上形成经图案化抗蚀剂，并且通过暴露于反应性气体的等离子体来修整所述光子芯片，其中所述反应性气体是氧气或氮气中的一者。
主权项：1.一种修整集成光子装置的方法，所述方法包括：光学地测量所述光子装置；至少基于所述光学测量来生成一或多个修整图案；基于所述一或多个修整图案在所述光子装置上形成经图案化抗蚀剂；及修整所述光子装置以调整所述光子装置的性能度量；其中所述修整包括经由所述经图案化抗蚀剂中的一或多个开口将所述光子装置暴露于包括反应性气体的等离子体。
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百度查询： 光子公司 用于修整光子集成电路的系统及方法
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