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摘要:一种异质结结构,其中势垒半导体层在沟道半导体层上外延生长,但对于势垒半导体层的外延生长的至少一部分,势垒半导体层的成分会发生变化。通过此方式,在一些情况下,可能会增加2DEG平面视图中的自由电子密度,从而对于给定的电压差产生更大的电流。此外,对于给定的电流,电子的迁移率也会增加,从而降低将2DEG作为沟道区的晶体管的导通电阻。这进一步提高了晶体管的功率效率,并减少了在给定功率下由晶体管产生的热量。
主权项:1.一种包括外延堆栈的异质结结构,包括:沟道半导体层,所述沟道半导体层由第一半导体材料形成;以及势垒半导体层,所述势垒半导体层外延沉积在所述沟道半导体层上,以在沟道半导体层和势垒半导体层之间形成异质结;所述势垒半导体层由第二半导体材料形成,所述第二半导体材料是由多种不同元素组成的化合物半导体材料,其中对于所述势垒半导体层的至少部分厚度,所述多种不同元素中至少部分元素的成分百分比随所述势垒半导体层内的外延深度而变化。
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百度查询: 英飞凌科技加拿大公司 具有不同层成分的异质结结构
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