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摘要:本公开提供了一种改善漏电的发光二极管及其制备方法,属于光电子制造技术领域。该制备方法包括:形成外延层,所述外延层包括依次层叠的第一半导体层、有源层和第二半导体层,所述第二半导体层具有露出所述第一半导体层的凹槽;在无氮气和氨气的气氛下,对所述外延层进行退火。本公开实施例能提升改善水汽侵入有源层致使发光二极管漏电失效的问题。
主权项:1.一种发光二极管的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括:形成外延层,所述外延层包括依次层叠的第一半导体层、有源层和第二半导体层,所述第二半导体层具有露出所述第一半导体层的凹槽;在无氮气和氨气的气氛下,对所述外延层进行退火。
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百度查询: 京东方华灿光电(浙江)有限公司 改善漏电的发光二极管及其制备方法
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