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摘要：本发明公开了一种缺陷检测系统，包括发射光源、第一探测器、第二探测器以及处理模块；所述第一探测器位于所述散射光的传输路径上，用于采集所述散射光信号，并将其转换为携带所述待测晶圆表面缺陷信息的第一探测信号；所述第二探测器用于在遮光条件下输出第二探测信号；所述处理模块分别与所述第一探测器和所述第二探测器电连接，用于接收所述第一探测信号以及所述第二探测信号，并用于根据所述第一探测信号以及所述第二探测信号确定散射光信号，并根据所述散射光信号确定所述待测晶圆的表面缺陷。本发明有效提高了系统对缺陷检测的信噪比，从而提升了检测系统的灵敏度，实现了对晶圆表面更小尺寸缺陷的检测。
主权项：1.一种缺陷检测系统，其特征在于，包括：发射光源、第一探测器、第二探测器以及处理模块；所述发射光源用于输出检测激光，所述检测激光在待测晶圆表面的缺陷处发生散射形成散射光；所述第一探测器位于所述散射光的传输路径上，用于采集所述散射光信号，并将其转换为携带所述待测晶圆表面缺陷信息的第一探测信号；所述第一探测信号包括散射光信号、第一暗电流信号、第一纹波噪声信号以及第一电路噪声信号；所述第二探测器用于在遮光条件下输出第二探测信号；所述第二探测信号包括第二暗电流信号、第二纹波噪声信号以及第二电路噪声信号；所述第二暗电流信号与所述第一暗电流信号之间的差值小于预设电流差值，所述第二纹波噪声信号与所述第一纹波噪声信号之间的差值小于预设纹波噪声差值，所述第二电路噪声信号与所述第一电路噪声信号之间的差值小于预设电路噪声差值；所述处理模块分别与所述第一探测器和所述第二探测器电连接，用于接收所述第一探测信号以及所述第二探测信号，并用于根据所述第一探测信号以及所述第二探测信号确定散射光信号，并根据所述散射光信号确定所述待测晶圆的表面缺陷。
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百度查询： 无锡卓海科技股份有限公司 一种缺陷检测系统
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