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摘要:本发明公开了一种运动台系统的控制方法、控制装置及运动台系统。控制方法包括:获取龙门轴横梁在第二方向的实际位置信息和第三方向的实际旋转角度信息;根据实际位置信息确定龙门轴横梁在第二方向所需的驱动力合力,根据实际旋转角度信息确定龙门轴横梁在第三方向所需的第一扭矩;结合驱动力合力和第一扭矩计算第一电机的第一驱动力和第二电机的第二驱动力。结合驱动力合力和第一扭矩确定第一电机出力和第二电机出力,可使龙门双驱结构在RW方向位置可控,从而解决第一电机出力和第二电机出力不平衡导致龙门轴横梁存在不平衡扭矩的问题,可提升兴趣点定位精度,提升龙门双驱结构中连接件的使用寿命。
主权项:1.一种运动台系统的控制方法,其特征在于,所述运动台系统包括龙门双驱结构,所述龙门双驱结构包括龙门轴横梁、第一电机和第二电机,在所述龙门双驱结构处于机械平衡姿态时,所述龙门轴横梁沿第一方向延伸;所述第一电机和所述第二电机分别设置于所述龙门轴横梁延伸方向的两侧,所述第一电机和所述第二电机驱动所述龙门轴横梁沿第二方向运动;所述第一方向与所述第二方向垂直;所述运动台系统的控制方法包括:获取所述龙门轴横梁在所述第二方向的实际位置信息和第三方向的实际旋转角度信息;所述第三方向绕所述龙门轴横梁的虚拟对称轴旋转,所述虚拟对称轴垂直于所述第一方向和所述第二方向;根据所述实际位置信息确定所述龙门轴横梁在所述第二方向所需的驱动力合力,根据所述实际旋转角度信息确定所述龙门轴横梁在所述第三方向所需的第一扭矩;结合所述驱动力合力和所述第一扭矩计算所述第一电机的第一驱动力和所述第二电机的第二驱动力。
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