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摘要：本发明适用于化学气相沉淀技术领域，提供了一种碳化硅外延化学气相沉积系统供气装置，包括沉淀箱、密封盖；两L形导向管之间穿设有与半环形管相适配的供气管组件；沉淀箱周侧面均匀贯穿设置有与密封环插接配合的安装管；安装管端部连通设置有活塞出气组件；沉淀箱内部转动设置有与各活塞出气组件相适配的导向组件，该装置通过配合活塞出气组件将各组反应气体抽进对应的集气球壳中，流动的气流带动拨动叶片转动，对进入集气球壳中的多组反应气体做预混和处理，多组活塞出气组件均匀设置在沉淀箱中，可将反应气体输送至沉淀箱中的多处区域，提升反应气体在沉淀箱中各区域的分散均匀程度，同时提升多种反应气体之间混合均匀程度。
主权项：1.一种碳化硅外延化学气相沉积系统供气装置，包括沉淀箱（1）以及盖设在所述沉淀箱（1）上的密封盖（2）；其特征在于：所述沉淀箱（1）周侧面均匀固定有若干耳板（3）；各所述耳板（3）之间固定有半环形管（4）；所述半环形管（4）中对称固定有L形导向管（5）；两所述L形导向管（5）之间穿设有与半环形管（4）相适配的供气管组件（6）；所述供气管组件（6）包括外软管（7）；所述外软管（7）内部呈圆周阵列分布设置有若干供气管（8），且其内部呈线性阵列分布设置有若干集气球壳（9）；所述集气球壳（9）与各供气管（8）之间连通设置有连接管（10）；所述连接管（10）上设置有第一单向阀（11）；各所述集气球壳（9）均贯穿外软管（7）连通设置有耳管（12）；所述耳管（12）端部连通设置有密封环（13）；所述沉淀箱（1）周侧面均匀贯穿设置有与密封环（13）插接配合的安装管（14）；所述安装管（14）端部连通设置有活塞出气组件（15）；所述沉淀箱（1）内部转动设置有与各活塞出气组件（15）相适配的导向组件（16）。
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