龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
摘要：本发明公开一种用于电子束曝光机的基片盘锁紧装置及其控制方法，装置中，转轴固定在底座上，转轴的一端与驱动组件连接，另一端与限位识别组件连接，限位识别组件用于辅助判断转轴转动的极限位置；夹持组件和弹簧预紧组件嵌套在转轴上，夹持组件用于锁紧基片盘，弹簧预紧组件用于提供弹簧转矩；当进行基片盘锁紧时，驱动组件提供的驱动力克服弹簧预紧组件提供的弹簧转矩，实现转轴转动，进而带动夹持组件转动至预设位置，待基片盘传入载片位置后，驱动组件回转至锁紧位置，并不再提供驱动力，夹持组件在弹簧转矩的作用下提供持续的锁紧力，以锁紧基片盘。本发明具有操作便捷、调节灵活且低磁干扰等特点，满足了电子束曝光机的特殊工况使用需求。
主权项：1.一种用于电子束曝光机的基片盘锁紧装置，其特征在于，包括底座1，以及安装在底座1上的驱动组件、转轴座5、转轴6、夹持组件、弹簧预紧组件和限位识别组件；所述转轴6通过转轴座5固定在底座1上，转轴6的一端与驱动组件连接，转轴6的另一端与限位识别组件连接，所述限位识别组件用于辅助判断转轴6转动范围的极限位置；所述夹持组件和弹簧预紧组件嵌套在转轴6上，夹持组件用于锁紧基片盘，弹簧预紧组件用于提供弹簧转矩，以作为夹紧力；当进行基片盘锁紧时，通过驱动组件提供的驱动力克服弹簧预紧组件提供的弹簧转矩，实现转轴6转动，进而带动夹持组件转动至预设位置，待基片盘传入载片位置后，驱动组件回转至锁紧位置，并不再提供驱动力，夹持组件在弹簧转矩的作用下提供持续的锁紧力，以锁紧基片盘。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国电子科技集团公司第四十八研究所 一种用于电子束曝光机的基片盘锁紧装置及其控制方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号