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摘要：本发明提供一种电化学反应装置及方法，所述电化学反应装置包括：电化学反应槽、阴极、阳极和样品夹具；所述样品夹具设于所述阴极和所述阳极之间，所述样品夹具还包括与夹持样品接触或相邻的电场调整件，所述电场调整件用于调节所述夹持样品的电场均匀性；使用本申请中的电化学反应装置，可通过控制样品边缘的电场强度与中间位置的电场强度的差异降低或两者接近，制备厚度均匀的多孔硅产品，用于解决现有技术中多孔硅制备厚度不均匀的问题。
主权项：1.一种电化学反应装置，其特征在于，所述电化学反应装置包括：电化学反应槽、阴极、阳极和样品夹具；所述样品夹具设于所述阴极和所述阳极之间，所述样品夹具还包括与夹持样品接触或相邻的电场调整件,所述电场调整件用于调节所述夹持样品的电场均匀性。
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百度查询： 上海集成电路材料研究院有限公司 一种电化学反应装置及多孔基片的制备方法
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