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摘要：本公开涉及一种存储器及其制备方法、版图结构，版图结构包括多个目标图形及狭缝图形，多个目标图形沿第一方向间隔排列成行以及沿与第一方向相交的第二方向间隔排列成列；狭缝图形位于多个目标图形之间，且至少一狭缝图形沿第二方向延伸；狭缝图形至少位于沿第一方向分布的两个目标图形之间的区域内，且狭缝图形在第一方向上的长度不小于目标图形在第一方向上的尺寸，至少能够避免出现因制备狭缝图形而导致目标图形损伤或损坏的情况。
主权项：1.一种版图结构，其特征在于，包括：多个目标图形，所述多个目标图形沿第一方向间隔排列成行以及沿与所述第一方向相交的第二方向间隔排列成列；狭缝图形，位于所述多个目标图形之间，且至少一所述狭缝图形沿所述第二方向延伸；其中，所述狭缝图形至少位于沿所述第一方向分布的两个目标图形之间的区域内，且所述狭缝图形在所述第一方向上的长度不小于所述目标图形在所述第一方向上的尺寸。
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百度查询： 福建省晋华集成电路有限公司 存储器及其制备方法、版图结构
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