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摘要：本公开提供了一种保护环的版图形成方法，所述方法包括：形成保护环的参数化图形；对参数化图形进行参数设置，以形成初始版图图形；初始版图图形至少包括接触区图形；基于初始版图图形的形状和尺寸在接触区图形中增设接触孔图形，以形成保护环的版图。
主权项：1.一种保护环的版图形成方法，其特征在于，所述形成方法包括：形成保护环的参数化图形；对所述参数化图形进行参数设置，以形成初始版图图形；所述初始版图图形至少包括接触区图形；基于所述初始版图图形的形状和尺寸在所述接触区图形中增设接触孔图形，以形成保护环的版图。
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百度查询： 长鑫存储技术有限公司 保护环的版图形成方法
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