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摘要：本发明提供了一种用于控制等离子体加速器引出束流的装置及方法，装置中：内设放电腔体的玻璃筒与分别内置有引出电极、第一加速极、第二加速极的各绝缘容器顺着气体流向依次相接并相通，由真空系统抽真空，进气系统连接至玻璃筒的上端，且与引出电极、第一加速极、第二加速极上均开设有供气体流通的气孔；耦合线圈绕设在玻璃筒筒外，两端与射频功率源通过导线相连；还设有用于控制进气系统、射频功率源、真空系统、电阻调节系统的远程控制系统；电阻调节系统在远程控制系统通过光电隔离控制系统的控制下，能够实现对两级加速器分压比的控制。本发明有助于提高束流引出效率，调节引出束流品质。
主权项：1.一种用于控制等离子体加速器引出束流的装置，其特征是：包括进气系统、放电腔体、玻璃筒、耦合线圈、射频功率源、引出电极、第一加速极、第二加速极、真空系统、电阻调节系统、高压电源、远程控制系统、光电隔离控制系统；内设放电腔体的玻璃筒与分别内置有引出电极、第一加速极、第二加速极的各绝缘容器顺着气体流向依次相接并相通，由安装在第二加速极所在绝缘容器下端的真空系统抽真空，整体内腔形成真空环境，引出电极上表面与玻璃筒下端连接，所述进气系统连接至玻璃筒的上端，且与引出电极、第一加速极、第二加速极上均开设有供气体流通的气孔，各气孔相通构成气体通道；所述耦合线圈绕设在玻璃筒筒外，两端与射频功率源通过导线相连；所述电阻调节系统包括电阻调节器与若干分压电阻，所述高压电源的正极引出两路，一路经导线依次串联各分压电阻后与负极相连，另一路经导线与第一加速极连接，所述电阻调节器的一端经导线与第二加速极连接，另一端作为调节端子，在远程控制系统通过光电隔离控制系统的控制下能够切换至与任意相邻两分压电阻之间引出的连接端子相连或断开；所述远程控制系统还分别与进气系统、射频功率源及真空系统通过相应的各光电隔离控制系统连接。
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百度查询： 中国科学院合肥物质科学研究院 一种用于控制等离子体加速器引出束流的装置及方法
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