龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
摘要：本发明属于磁控溅射靶材制造技术领域，公开了一种高纯高致密细晶低氧钨靶材的制备方法。以纯度大于5N的W粉为原料，先通过真空热压烧结的方式获得相对密度为80％～90％的预成型钨靶坯。然后通过多道次小变形热轧的方式在预成型钨靶坯表面0.5～2mm厚度的范围内形成相对密度为95％～99％的致密化表层，心部密度及组织状态仍保持不变。最后将多道次小变形轧制后的钨靶坯进行无包套热等静压烧结致密化处理，处理后将表层0.5～2mm厚度的轧制态组织去除，获得致密度≥99.5％，平均晶粒尺寸≤10μm，氧含量≤10ppm的高纯W靶坯。
主权项：1.一种高纯高致密细晶低氧钨靶材的制备方法，其特征在于，所述方法包括：1以高纯W粉作为原料，所述高纯W粉纯度5N，氧含量500ppm；2将高纯W粉通过真空热压烧结获得相对密度为80％～90％的预成型钨靶坯；3将预成型钨靶坯进行多道次小变形热轧，控制单道次热轧变形量≤3％，总变形量为10％～15％，在预成型钨靶坯表面0.5～2mm厚度的范围内形成相对密度为95％～99％的致密化表层包套；4将经步骤3得到的钨靶坯进行热等静压烧结后，去除表层轧制态组织，获得高纯高致密细晶低氧钨靶材，所述高纯高致密细晶低氧钨靶材的纯度5N、致密度≥99.5％、平均晶粒尺寸≤10μm、氧含量≤10ppm。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 有研亿金新材料(山东)有限公司 有研亿金新材料有限公司 一种高纯高致密细晶低氧钨靶材的制备方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号