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摘要：本实用新型提供了一种蒸镀线源装置及真空蒸镀装置，涉及蒸镀装置技术领域。本实用新型的蒸镀线源装置可以包括蒸镀容器、加热装置和保温装置。加热装置与蒸镀容器之间有间隙，因此加热装置并没有与蒸镀容器直接接触，而是通过热辐射的形式对蒸镀容器进行加热，避免因为加热装置的加热导致蒸镀容器的局部温度不均匀的情况。此外，本实用新型中加热装置外还设置保温装置，保温装置又分为多个保温单元，每个保温单元可以包括至少一个保温板，在对加热装置进行保温的同时，可以通过调节保温板的数量来调节该保温板对应位置的保温效果，从而可以进一步的提高温度的均匀性。
主权项：1.一种蒸镀线源装置，其特征在于，包括：蒸镀容器，其内放置待蒸发物体；加热装置，设置在所述蒸镀容器外周，并与所述蒸镀容器的外壁之间留有间隙，用于加热所述蒸镀容器，进而蒸发所述待蒸发物体；和保温装置，包括多个并排设置在所述加热装置外侧的保温单元，每一所述保温单元包括至少一个保温板，通过调节所述保温板的数量来调节对应位置处的保温效果。
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百度查询： 苏州迈为科技股份有限公司 一种蒸镀线源装置及真空蒸镀装置
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