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摘要：本申请涉及一种掩膜板、基板、蒸镀装置及蒸镀方法。掩膜板用于在基板上蒸镀膜层，基板包括基板本体和设置在基板本体一侧的第一支撑柱；掩膜板包括掩膜板本体，掩膜板本体上设置有蒸镀孔，掩膜板本体具有朝向基板本体的第一侧，掩膜板本体的第一侧设置有凹槽，凹槽用于在蒸镀时与第一支撑柱相抵。本申请中的掩膜板，掩膜板本体的第一侧设置有凹槽，在进行蒸镀的过程中，基板本体上的第一支撑柱与凹槽相抵，使得基板本体与掩膜板之间的距离有所减小，在基板本体与掩膜板之间的距离减小的情况下，可以使蒸镀形成的膜层的膜厚均匀区域的面积变大，使制作出的发光层的发光亮度和发光均匀性均得到提升，进而改善蒸镀所形成的发光层的发光性能。
主权项：1.一种掩膜板，用于在基板上蒸镀膜层，所述基板包括基板本体和设置在所述基板本体一侧的第一支撑柱；所述基板还包括设置在所述基板本体上的第二支撑柱；其特征在于，所述掩膜板包括掩膜板本体，所述掩膜板本体上设置有蒸镀孔，所述掩膜板本体具有朝向所述基板本体的第一侧和背离所述基板本体的第二侧，所述掩膜板本体的所述第一侧设置有凹槽，所述凹槽用于在蒸镀时与所述第一支撑柱相抵；所述掩膜板本体的第一侧设置有磁吸附区域，所述磁吸附区域用于吸附位于基板的远离所述掩膜板本体一侧的压板；所述掩膜板本体上的所述磁吸附区域用于在对所述基板实施蒸镀的过程中与所述第二支撑柱相抵。
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百度查询： 合肥维信诺科技有限公司 昆山国显光电有限公司 掩膜板、基板、蒸镀装置及蒸镀方法
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