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摘要：本实用新型公开了一种进气装置及热炉，进气装置用于朝向热炉内部输入气体且支撑舟结构，进气装置包括进气件和支撑件，进气件位于热炉的炉口端，且穿设于热炉的侧壁，进气件用于朝向热炉内部输入气体，支撑件用于支撑舟结构，支撑件的两端分别与热炉的炉口端以及炉尾端相连，且支撑件与炉尾端相连的端部设置通气口，支撑件上沿其长度方向间隔设置有补气喷淋口，补气喷淋口与通气口连通。该进气装置能够确保炉管内气流均匀分布，确保硅片间的均匀性和一致性，提高工艺良率。
主权项：1.一种进气装置，其特征在于，所述进气装置用于朝向热炉内部输入气体且支撑舟结构，所述进气装置包括：进气件，位于所述热炉的炉口端，且穿设于所述热炉的侧壁，所述进气件用于朝向所述热炉内部输入气体；支撑件，用于支撑所述舟结构，所述支撑件的两端分别与所述热炉的炉口端以及炉尾端相连，且所述支撑件与所述炉尾端相连的端部设置通气口，所述支撑件上沿其长度方向间隔设置有补气喷淋口，所述补气喷淋口与所述通气口连通。
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百度查询： 拉普拉斯新能源科技股份有限公司 一种进气装置及热炉
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