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摘要：本发明公开了外延炉的源气进气控制组件及调节方法，涉及外延炉的源气进气控制技术领域，外延炉的源气进气控制组件，包括进气件，其与反应壳体密封连接，且一端置于反应壳体内；均流组件，其置于所述进气件位于反应壳体外的一端，其一端与所述进气件连接，另一端与源气进气系统和吹扫气体系统连接；本发明通过多孔均流板、导风件、弧形导风片、弧形弹性导风件和滑动按压件等之间的相互配合，控制伸缩驱动组件伸长，使导风筒从均流板拔出，然后控制吹扫气体系统向均流组件供气，进入的气体在弧形弹性导风件、弧形导风片的导向下，使吹扫气体流向四周，最终从贯穿槽进入进气件内，实现对进气件的吹扫。
主权项：1.外延炉的源气进气控制组件，包括进气件，其特征在于，其与反应壳体密封连接，且一端置于反应壳体内；均流组件，其置于所述进气件位于反应壳体外的一端，其一端与所述进气件连接，另一端与源气进气系统和吹扫气体系统连接；所述均流组件包括对接座，其与所述进气件相对接；容纳槽，其开设于所述对接座靠近进气件的一侧；多孔均流板，其置于所述容纳槽内部，其一端设有与所述进气件配合的密封凸起；导风筒，其置于所述多孔均流板与对接座之间，且均与所述多孔均流板和对接座滑动密封插接；弧形导风片，其置于所述导风筒内且与对接座连接，其中部向所述对接座拱起，其中部开设有通风口；弧形弹性导风件，其置于所述导风筒内，且位于所述弧形导风片与多孔均流板之间，其弧形拱起方向可调；与气源进气系统和吹扫气体系统连接的进风管，其贯穿所述对接座，且与通风口相对应；滑动按压件，其置于所述导风筒远离多孔均流板的一侧，且延伸至所述对接座外，且与所述对接座密封滑动连接；两个凸起部，其分别设置于所述弧形弹性导风件前后两侧，其用于使所述弧形弹性导风件弹性变形，改变所述弧形弹性导风件的弧形拱起方向；伸缩驱动组件，其与所述滑动按压件连接，其用于驱动所述滑动按压件滑动。
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