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摘要:本实用新型提出一种探针台用加热盘的装置,包括圆形铜台面、圆盘底座和加热片,所述圆形铜台面底部开设有长槽口的加热装配槽,加热片嵌入设置于加热装配槽中,紧贴加热片的底部设有压紧座,圆形铜台面通过第二螺丝固定于圆盘底座上,且圆形铜台面与圆盘底座之间且对应第二螺丝的位置设有隔热支撑。本实用新型中加热片和圆形铜台面之间采用嵌入式的方法可以更迅速的均匀传递热量,加热片可以嵌在加热装配槽的多个位置,满足多位置受热;由隔热支撑撑起圆形铜台面可以避免温度流失和扩散影响其他零件。
主权项:1.一种探针台用加热盘的装置,包括圆形铜台面1、圆盘底座2和加热片3,其特征在于,所述圆形铜台面1底部开设有长槽口的加热装配槽101,加热片3嵌入设置于加热装配槽101中,紧贴加热片3的底部设有压紧座6,且压紧座6通过若干个第一螺丝7固定于圆形铜台面1的底部,所述圆形铜台面1的一侧开设有延伸至内部的传感器装配插孔102,且传感器装配插孔102中配合插设有温度传感器4。
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