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压力导通路结构及压力传感器 

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摘要:本发明提供一种破坏强度相对低的构件不会被破坏的压力导通路结构及具有所述压力导通路结构的压力传感器。所述压力导通路结构包括:层叠体,包括具有贯通孔~贯通孔的构件;以及压力导通路,包括贯通孔~贯通孔。层叠体包括:玻璃构件低强度的构件,破坏强度比其他构件低;以及第一硅构件第一高强度的构件及第二硅构件第二高强度的构件,夹着玻璃构件。在第一硅构件设置压力导入口,在第二硅构件设置堵塞压力导通路的隔膜。第一硅构件的贯通孔的孔径比玻璃构件的贯通孔的孔径大。第二硅构件的贯通孔的孔径比玻璃构件的贯通孔的孔径小。

主权项:1.一种压力导通路结构,其特征在于,包括:层叠体,是将具有贯通孔的至少三个构件以所述贯通孔相互连接的方式层叠而成;以及压力导通路,在所述层叠体中由所述构件的贯通孔形成,并由压力传递介质充满,所述至少三个构件包括:低强度的构件,破坏强度比其他构件低;以及第一高强度的构件与第二高强度的构件,是破坏强度比所述低强度的构件高的构件,且夹着所述低强度的构件,在所述第一高强度的构件连接有构成所述压力导通路的压力导入口的构件,在所述第二高强度的构件连接有闭塞所述压力导通路的构件,形成于所述第一高强度的构件的贯通孔的孔径比形成于所述低强度的构件的贯通孔的孔径大,形成于所述第二高强度的构件的贯通孔的孔径比形成于所述低强度的构件的贯通孔的孔径小。

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权利要求:

百度查询: 阿自倍尔株式会社 压力导通路结构及压力传感器

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