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摘要：本发明提供了一种晶圆清洗机及晶圆搬运的方法，晶圆清洗机，包括第一清洗腔体、第二清洗腔体、安装平台、三轴机械手，所述三轴机械手安装在所述安装平台上，所述三轴机械手能够在所述第一清洗腔体和所述第二清洗腔体之间移动。本发明的有益效果是：本发明能够提升产能，同时减少异物灰尘。
主权项：1.一种晶圆清洗机，其特征在于，包括第一清洗腔体101、第二清洗腔体102、安装平台103、三轴机械手104，所述三轴机械手104安装在所述安装平台103上，所述三轴机械手104能够在所述第一清洗腔体101和所述第二清洗腔体102之间移动；所述第一清洗腔体101和所述第二清洗腔体102内安装有喷嘴，所述喷嘴包括喷嘴本体1，所述喷嘴本体1设有至少两个输入口，在输入口位置设有流量控制阀，所述喷嘴本体1内部设有螺纹；所述喷嘴本体1内部设有温度控制模块，所述温度控制模块用于对药液的温度进行控制；药液由两种溶液混合而成，第一种溶液为盐酸或氨水，第二种溶液为过氧化氢，盐酸+过氧化氢的水溶液的标准配比为HClH2O2H2O，比例为：1:1:6至1:2:8；氨水+过氧化氢的水溶液的标准配比为NH4OHH2O2H2O，比例为：1:1:5至1:2:7；所述流量控制阀为两个，两个流量控制阀分别为第一流量控制阀和第二流量控制阀，所述输入口为两个，两个输入口分别为第一输入口2和第二输入口3，所述第一流量控制阀安装在所述第一输入口2位置处，所述第二流量控制阀安装在所述第二输入口3位置处。
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