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面密度测量的标定方法、面密度的测量方法和测量装置 

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摘要:一种面密度测量的标定方法,包括:提供多个第一待测样品10,第一待测样品10包括第一基材11和涂覆于第一基材11表面的第一膜层12;第一待测样品10的第一基材11厚度相同,第一膜层12厚度不同;测量多个第一待测样品10的质量m′;测量不含第一膜层12的第一基材11的质量m0;根据m′和m0得到多个不同厚度的第一膜层12的质量m;采用多个不同厚度的第一膜层12的质量m进行实验线性标定,得到第一膜层12的放射源强度衰变标定映射;通过第一膜层12的放射源强度衰变标定映射得到第一膜层12的吸收系数λ2。这样可以减小因多层混合材料用同一吸收系数λ或者平均吸收系数λ而引起的系统偏差,提高面密度测量精度。还公开了一种面密度的测量方法,一种面密度的测量装置和一种面密度的波动评估方法。

主权项:一种面密度测量的标定方法,其特征在于,包括:提供多个第一待测样品,所述第一待测样品包括第一基材和涂覆于所述第一基材表面的第一膜层;其中,多个所述第一待测样品的第一基材厚度相同,且多个所述第一待测样品的第一膜层厚度不同;测量多个所述第一待测样品的质量m’;测量不含第一膜层的所述第一基材的质量m 0; 根据m’和m 0,得到多个所述第一待测样品的不同厚度的第一膜层的质量m; 采用多个所述第一待测样品的不同厚度的第一膜层的质量m进行实验线性标定,得到所述第一膜层的放射源强度衰变标定映射;通过所述第一膜层的放射源强度衰变标定映射得到所述第一膜层的吸收系数λ 2。

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