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摘要：根据本实施方式的搬送装置是被配置成搬送基板100以用线性激光束15照射基板100的搬送装置600，并且包括：悬浮单元10，其包括多个悬浮单元区131，在多个悬浮单元区131之间布置有间隙132，悬浮单元10被配置成使基板100悬浮在悬浮单元10的上表面上方；保持机构12，其被配置成将基板保持在悬浮单元10上方；移动机构13，其被配置成使保持机构沿相对于激光束的线方向倾斜的搬送方向移动；基座120，其支撑悬浮单元区131；以及位移计129，其设置在激光束的照射区域15a正下方的间隙132中并且被配置成检测基板100的高度。
主权项：1.搬送装置，其被配置成搬送基板以用线性激光束照射所述基板，所述搬送装置包括：悬浮单元，其包括多个悬浮单元区，这些悬浮单元区之间布置有间隙，所述悬浮单元被配置成使所述基板悬浮在所述悬浮单元的上表面上方；保持机构，其被配置成将所述基板保持在所述悬浮单元上方；移动机构，其被配置成使所述保持机构沿当俯视观察时相对于所述激光束的线方向倾斜的搬送方向移动，以改变所述激光束在所述基板上的照射位置；基座，其支撑所述悬浮单元区；以及位移计，其设置在所述激光束的照射区域正下方的间隙中，以检测所述基板的高度。
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百度查询： JSW阿克迪纳系统有限公司 搬送装置、搬送方法以及半导体装置的制造方法
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