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摘要：本公开提供一种微位移传感器的测力控制方法，是控制微位移传感器施加在工件的测力的控制方法，测力控制方法包括：令扫描元件处于水平状态；对线圈结构施加电流，逐步调整线圈结构的电流以多次偏转扫描元件，并在扫描元件偏转后的多个平衡位置记录多个平衡电流值和与多个平衡电流值相匹配的且用于表征扫描元件的多个平衡位置的多个坐标数据；基于多个平衡电流值和多个坐标数据获取第一方程；基于第一方程和与工件相匹配的预设电流值获取第二方程；在测量过程中，基于扫描元件的测量位置和第二方程控制线圈结构的测量电流值。根据本公开，能够提供一种保持测力稳定，从而提高微位移传感器的测量精度的微位移传感器的测力控制方法。
主权项：1.一种微位移传感器的测力控制方法，是控制所述微位移传感器施加在工件的测力的控制方法，其特征在于，所述微位移传感器包括对所述工件施加所述测力的扫描元件、测量所述扫描元件的坐标数据的传感器、以及作用于所述扫描元件并调整所述测力的线圈结构，所述测力控制方法包括：令所述扫描元件处于水平状态；对所述线圈结构施加电流，逐步调整所述线圈结构的电流以多次偏转所述扫描元件，并在所述扫描元件偏转后的多个平衡位置记录多个平衡电流值和与多个所述平衡电流值相匹配的且用于表征所述扫描元件的多个平衡位置的多个所述坐标数据；基于多个所述平衡电流值和多个所述坐标数据获取第一方程；基于所述第一方程和与所述工件相匹配的预设电流值获取第二方程；在测量过程中，基于所述扫描元件的测量位置和所述第二方程控制所述线圈结构的测量电流值。
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百度查询： 深圳市中图仪器股份有限公司 微位移传感器的测力控制方法
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