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摘要：本发明公开了一种薄膜真空规一体化测试装置。其中装置包括数字采集存储模块、电源模块、数据显示控制器、第一薄膜真空规接口及第二薄膜真空规接口；第一薄膜真空规接口与第二薄膜真空规接口分别用于连接到第一薄膜真空规与第二薄膜真空规；数字采集存储模块用于在第一薄膜真空规接口及第二薄膜真空规接口连接到薄膜真空规时，从薄膜真空规处获取真空规测量值，并为第二薄膜真空规供电；数据显示控制器用于对真空规测量值进行显示；电源模块用于为数据显示控制器以及数字采集存储模块供电。上述装置能提高对薄膜真空规进行数据采集与处理时的便利性。
主权项：1.一种薄膜真空规一体化测试装置，其特征在于，所述薄膜真空规一体化测试装置包括数字采集存储模块、电源模块、数据显示控制器、第一薄膜真空规接口以及第二薄膜真空规接口；所述第一薄膜真空规接口用于连接到外部的第一薄膜真空规，所述第二薄膜真空规接口用于连接到外部的第二薄膜真空规，其中，所述第一薄膜真空规为不需要从所述薄膜真空规一体化测试装置获取工作电源的薄膜真空规，所述第二薄膜真空规为需要从所述薄膜真空规一体化测试装置获取工作电源的薄膜真空规；所述数字采集存储模块用于在所述第一薄膜真空规接口连接到所述第一薄膜真空规时，从所述第一薄膜真空规处获取真空规测量值，并在所述第二薄膜真空规接口连接到所述第二薄膜真空规时，从所述第二薄膜真空规处获取真空规测量值；所述数据显示控制器用于从所述数字采集存储模块获取所述真空规测量值，并使所述真空规测量值在所述数据显示控制器带有的显示屏上进行显示；所述电源模块用于为所述数据显示控制器以及所述数字采集存储模块供电；所述数字采集存储模块还用于在所述第二薄膜真空规接口连接到所述第二薄膜真空规时，经所述第二薄膜真空规接口为所述第二薄膜真空规供电。
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百度查询： 中国科学院微电子研究所 一种薄膜真空规一体化测试装置
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